新品便攜式電阻率用來測量硅晶塊、晶片的電阻率及擴(kuò)散

便攜式電阻率測試儀是用來測量硅晶塊、晶片的電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。

   本儀器按照半導(dǎo)體材料電阻率的際及家標(biāo)準(zhǔn)測試方法有關(guān)規(guī)定*。

   它主要由電器測量份（主機(jī)）及四探針頭組成，需要時(shí)可加配測試架。

   為減小體積，本儀器用同塊數(shù)字表測量電流及電阻率。樣品測試電流由精度的恒流源提供，隨時(shí)可行校準(zhǔn)，以確保電阻率測量的準(zhǔn)確度。因此本儀器不僅可以用來分選材料也可以用來作產(chǎn)品檢測。對(duì)1～100Ω·cm標(biāo)準(zhǔn)樣片的測量誤差不過±3%，在此范圍內(nèi)達(dá)到家標(biāo)準(zhǔn).

（1）測量范圍：

可測方塊電阻：  0.1～1999Ω/口

        當(dāng)被測材料電阻率≥200Ω·cm數(shù)字表顯示0.00。

（2）恒流源：

      輸出電流：DC  0.1mA～10mA分兩檔

      1mA量程：0.1～1mA  連續(xù)可調(diào)

      10mA量程：1mA ～10mA連續(xù)可調(diào)

      恒流精度：各檔均優(yōu)于±0.1%

（1）  直流數(shù)字電壓表

測量范圍：0～199.9mv

靈敏度：100μv

準(zhǔn)確度：0.2%（±2個(gè)字）

（2）  供電電源：

AC：220V   ±10%     50/60HZ    率8W

（3）  使用環(huán)境：          相對(duì)濕度≤80%

（4）  重量、體積

重量：2.2 公斤        

體積：寬210×100×深240（mm）